Национальный эталон предназначен для воспроизведения, хранения и передачи размера единицы давления в диапазоне от 1·10^-6 до 1·10⁵ Па.

Принцип действия национального эталона единицы давления в области измерения вакуума

Измерительную камеру установки вакуумметрической эталонной ВЭУ-Б № 01 откачивают до достижения остаточного давления Р_о, связанного с нижним пределом Р_min диапазона измерений (преобразования) поверяемого (калибруемого) вакуумметра (преобразователя).

Поверку (калибровку) в диапазоне измерений от 1·10^-6 до 1·10⁵ Па и определения относительной погрешности измерений проводят путем сличения показаний вакуумметров, входящих в состав установки, и поверяемого (калибруемого) вакуумметра (преобразователя).

Для определения относительной погрешности при помощи высокоточного натекателя устанавливают необходимое значение давления в каждой исследуемой точке. Действительное значение заданного давления контролируют по показаниям эталона. После достижения в каждой исследуемой точке постоянства давления, регистрируют одновременно показания вакуумметра из состава установки и поверяемого (калибруемого) вакуумметра (преобразователя).

В диапазоне давлений от 1·10^-1 до 1·10⁴ Па для воспроизведения необходимого значения абсолютного давления также используют метод статического расширения, основанный на закон Бойля-Мариотта.

Воспроизводимый и хранимый национальным эталоном диапазон значений единицы давления от 1·10^-6 до 1·10⁵ Па.

Предельное остаточное давление: 1·10^-7 Па.

не нормируется

Неисключенная систематическая погрешность:

±15 % в диапазоне от 1·10^-6 до 1·10^-1 Па;

±5 % в диапазоне свыше 1·10^-1 до 1·10³ Па;

±2 % в диапазоне свыше 1·10³ до 1·10⁵ Па.

не нормируется

-

-

Национальный эталон состоит из установки вакуумметрической эталонной ВЭУ-Б (далее – установка), в которую встроена вакуумная откачная система с измерительной камерой, на которой установлены:

– вакуумметры ионизационные AIGX зав.№ 076406107;

– датчики давления МИДА-15 мод. МИДА-ДА-15-Э с верхним пределом измерений 1·10⁵ Па и с верхним пределом измерений 2,5·10⁴ Па.

Для создания и поддержания давления в измерительной камере установка укомплектована следующим оборудованием и средствами измерений:

– насос вакуумный спиральный (форвакуумный насос) HBCn-12 (диапазон поддержания давления от 1 до 1·10⁵ Па);

– турбомолекулярный высоковакуумный насос КВТ-400 (диапазон поддержания давления от 1,3·10^-5 до 6,5 Па) с преобразователем частоты ТМН № МГ-019/18;   

 – магниторазрядный высоковакуумный насос ПВИГ-100/160/9-018 (диапазон поддержания давления от 1·10^-6 до 1·10^-2 Па) с блоком питания БПМ-0,25 и блоком питания прямоканальных испарителей БППИ № 12;

– индикаторный вакуумметр сопротивления APG100-XLC  и комбинированный блокировочный  вакуумметр АВ 3599  с преобразователем низковакуумным ПМТ-6-3М, высоковакуумными преобразователями манометрическими ПММ-32-1,  АВ3276;

– высокоточный натекатель и клапаны для регулирования давления в измерительной камере КВМ-25, КВЭ-25.

Для обезгаживания вакуумной откачной системы установка оснащена системой прогрева и терморегуляции, в состав которой входят:

– устройство прогрева, состоящее из прибора для измерения и регулирования температуры ТЕРМОДАТ-17Е6  и трех нагревательных кабельных секций ВТН  в составе с силовыми блоками СБ15М3;

– термометры сопротивления ТС716А, предназначенные для измерения температуры измерительной камеры и вакуумной откачной системы установки;

– элементы теплоизоляции.

Конструктивно в установке выделена стойка управления, состоящая из следующих устройств и оборудования:

– устройство индикации измеряемого (воспроизводимого) давления, представленное контроллером TIC;

– устройство индикации и управления температурой ТЕРМОДАТ-17Е6;

– индикатор давления, представленный электронным блоком вакуумметра АВ 3599;

– панель индикации измеренных значений давления эталонными датчиками давления МИДА-15 мод. МИДА-ДА-15-Э;

– персональный компьютер с программным обеспечением «Задание давления измерительной камеры. 2310-1-2023», разработанным ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева», в том числе для регистрации результатов измерений эталонными датчиками;

– органы управления форвакуумными и высоковакуумными насосами.